白光干涉测量

白色光干涉测量法很像激光干涉测量,除了使用许多波长的光线。这允许来自样本上同一区域的多个数据点,以及用于从样本中提取的颜色数据。

白光干涉测量技术的示意图
白光干涉测量(WLI)技术的示意图。

在白光干涉测量中,分析了各个波长的衍射图案,如激光干涉仪,但与许多其他波长组合以提高灵敏度。

通过彩色摄像机已经大大启用了这种技术,它会自动将灯光分解为红色,蓝色和绿色信号。然而,所涉及的光学器件比标准激光干涉仪更复杂,软件重建也很复杂。

白色光干涉测量中的彩色信号
白色光干涉测量中的颜色信号。

可以看出激光干涉测量,只需使用该白光干扰图的红色谱。通过添加其他光的其他频率,可以获得更多信息,可以利用现代计算。

该方法确实需要显着的计算能力和各种计算模型,这可能导致表面几何形状/不透明度和建模伪影的约束。

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