许多基于电子显微镜的成像技术存在，以提供独特的材料对比。阴极发光（CL）成像收集并测量由在材料处的电子束产生的光。获得CL成像的最快和最简单的方法是通过执行强度映射。该方法使用单像素光检测器记录每个光束位置的CL强度。
有两种方法来实现这一点：全同色和滤色器阴滤器发光。Panchromatic成像平均CL信号在落在检测范围内的所有波长（颜色）上。通过引入滤色器，可以执行滤色器的CL强度映射。
光电倍增管
SPARC阴极发光系统使用光电倍增管（PMT）光检测器与过滤轮一起使用。这允许在七个不同波长频带处的强度映射（第8个条目是空的，允许平面成像）。
PMT检测器快速，敏感，具有大的检测区域，允许具有高分辨率的大型样本区域的快速扫描。像素停留时间可以低至每像素的1μs，使能视频速率阴极发光成像。单次扫描中可以覆盖大于0.5×0.5毫米的区域，使其成为扫描更大尺度结构或使CL概述图像的理想选择。这用于识别更多关于更深入的CL研究的感兴趣区域（例如Cl光谱）。
以下是表示左侧的扫描电子显微镜图像和右侧的阴极发光测量值的图。使用频谱的蓝色和绿色部分中的PMT和三个过滤器获取右侧的附加细节。这些附加细节揭示了CL测量有助于确定晶体生长，区分，缺陷和其他伪影的细节。
