扫描电镜三维重建
通过三维粗糙度重建应用，Phenom SEM系统能够生成三维图像和亚微米粗糙度测量。这种对Phenom SEM的全自动应用有助于交流成像结果。三维粗糙度重建将提取并可视化可能隐藏在样本中的数据。
主要规格
- 直观和完全自动化的用户界面
- 基于“形状来自底纹”技术
- 不需要舞台倾斜
- 快速重建
3D成像有助于解释样本特征，使图像更容易理解。例如，通常很难从平面二维图像中识别凹痕、划痕和毛刺。测量平均粗糙度(Ra)和粗糙度高度(Rz)对于控制和理解生产过程至关重要。
与间接方法相比，使用扫描电子显微镜成像数据收集提供了更好的分辨率。