Phenom XL桌面扫描电镜与感知GSR软件
世界上第一个专用的桌面扫描电镜，推动桌面扫描电镜与感知GSR软件的边界。自动射击残留物(GSR)软件完全集成，增强了用户友好性，可靠性和分析速度。该系统具有Phenom系列的易用性和快速工作流程，但具有任何桌面SEM的最大的样品室，为自动化提供了前所未有的机会。
特性
天工XL桌面扫描电镜具有任何桌面扫描电镜中最大的样品室，同时保持原有天工平台的所有优势。
- 基于感知软件的自动射击残留物分析与分类软件
- SEM和EDS集成到一个易于使用的软件包
- 校准样品
- 最快的排气/负载周期，高吞吐量
- 电动XY样品台
- 彩色光学相机的点击导航
- 电荷减少模式减少了对样品的涂层需求
- 占用空间小
- 不需要基础设施
高通量，可靠的结果
Phenom XL Perception GSR配备了一个腔体，可以处理100毫米X 100毫米的扫描区域。该软件使用了SEM的内部扫描控制，使GSR粒子验证步骤能够精确和精确的光束定位。标准样品持有人允许自动分析多达30 (30)12mm的GSR销存根加上必要的校准样品。样品加载简单易行，专有的排气/加载机制确保世界上最快的排气/加载周期。
天工感知GSR软件
感知GSR软件允许各个实验室轻松创建基于标准操作程序(sop)的定制食谱。基于标准砌块配方接口，数据采集可完全自动化，用于颗粒定位和EDS分析，结果可靠、可重复。
- 直观的用户界面
- 符合ASTM E1588-17标准
- 在平面人造GSR样本上的命中率≤98%
- 符合ENFSI Est实践指南2006
- 丰富的报告功能和灵活的定制模板
- 支持手动重新访问和验证粒子
规范
| 类别 | Phenom XL SEM感知GSR规格 |
|---|---|
| 光学导航相机 | 3 - 16倍放大;彩色图像;亮场和暗场照明 |
| 扫描电镜放大 | Max 100000 x。 |
| 决议 | 小于10纳米 |
| 数码变焦 | 马克斯。12 x |
| 光光学 | 亮场/暗场模式 |
| 电子光学 |
|
| 加速电压 | 4.8 - 20.5 kV |
| 真空模式 | 高、中、低真空 |
| 探测器 | BSD EDS SED(可选) |
| 样本大小 | 最大100毫米x 100毫米 多达30 x 12毫米的针存根 |
| 样品的高度 | 马克斯。40毫米 |
| 更多信息 | 比较扫描电子显微镜模型 |