扫描电镜样品制备

全自动,低成本的台式溅射镀膜装置对扫描电子显微镜(SEM)样品进行镀膜

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溅射涂布机

金箔涂布机:方便扫描电镜涂布

在卢克索TM台式溅射镀膜机是一种全自动、价格合理的磁控溅射镀膜设备,用于在扫描电子显微镜(SEM)样品上涂敷导电金或金/钯层。易于操作和使用,具有坚固和安全的设计,它是第二代仪器,基于“微型溅射涂布机1”的工作原理,其中多个单位已安装在过去的十年。


卢克索TM台式喷涂机优点:

自动化

可复制涂层和自动化操作,价格合理,只需设置厚度,并推动“开始”

显微镜的保护

保护您的桌面停止扫描电子显微镜自动清除松散颗粒,气体多孔样品和蒸发湿样品

为用户安全而设计

安全操作与双重内爆保护屏蔽和没有高电压的外壳,方便地坐在您的桌面或工作台在您的实验室


卢克索金溅射涂布机产品形象

全自动台式溅射涂布机

磁控溅射装置在桌面扫描电镜样品上涂上一层导电层(金,金/钯,钯),厚度从1到50纳米。

在样品准备站安装多达12个样品存根,并按“开始”按钮。

三重功能

  • 金溅射模式
  • 样品干燥模式
  • 真空模式
卢克索金溅射涂布机触摸屏

单触摸操作

只需选择厚度和按“开始”。没有操作人员管理的真空,电流或溅射时间产生可重复,均匀的金属镀层。

卢克索金溅射镀膜安全设计

SEM保护功能

在卢克索TM台式溅射镀膜机的取样站位于取样室的顶部,磁控管头位于底部。当样品倒挂时,这会产生最佳的涂层,所以在样品进入扫描电子显微镜前,任何松散的材料或颗粒都会被自动清除。自动清除松散颗粒,出气多孔样品和蒸发湿样品意味着更好的保护您的SEM。

卢克索金溅射镀膜机样品制备

稳健安全的设计

  • 简单的示例安装
  • 仪器外壳外无高压元件
  • 简单的目标替代
  • 占地面积小(30厘米x30厘米)

技术规格

类别 规范
用户界面 触摸屏显示
连接 电源:230/110 V, 50/60 Hz
真空泵插座:230/110 V, 50/60 Hz,最大6.3 A
工艺气体连接器:4毫米x 1毫米
DN KF16真空连接器
溅射参数 厚度可连续选择从1到50 nm
干燥参数 真空等级可选择从5pa到300pa
处理时间可选从1到240分钟
平均工作距离 40毫米
目标的大小 Ø30毫米
目标材料支持 Au, Au/Pd, Pd, Ag
电力供应 500w(含泵)
120w(无泵)
天然气供应 空气或氩气,0.6巴
重量和尺寸

11.3 kg, 300mm (W) x 300mm (D) x 450mm (H)
处理室 硼硅酸盐玻璃Ø 100毫米x 150毫米高
内爆的盾牌 PET Ø 120mm x 150mm高
随本单位提供 金靶Ø 30 mm,厚度100µm(纯度99,999%)
1 x受体硼硅酸盐玻璃
2 x橡胶密封件
1 x内爆防护盾
1 x顶锁(样品准备架)
1 ×电源线
1 x说明书和安全手册
真空泵 可单独订购“泵套件”,包括:
1台两级粗泵,排量4.8 m³/h
1 x真空软管,DN KF16,长度1m
2 x配件DN KF16
2 x密封DN KF16
1个油雾过滤器
配件 天工光晕桌面扫描电镜样品持有人顶部锁
备件 目标Ø 30毫米(黄金,黄金/钯)
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