轮廓术是一种从表面提取地形数据的技术。这可以是单点扫描，线扫描，甚至是全三维扫描。轮廓术的目的是得到表面形貌、台阶高度和表面粗糙度。这可以用物理探针或光来完成。
计量学是测量的科学。样品有多粗糙？功能有多高？有多少区域有空隙或颗粒？缺陷密度是多少？这些问题的答案通常使用轮廓术进行量化。
轮廓仪是如何工作的
所有轮廓仪至少由两部分组成——一个探测器和一个样品台。检测器决定了样品上的点在哪里，而样品台则决定了样品的存放位置。在一些系统中，样品台移动以允许测量，在另一些系统中，检测器移动，在一些系统中两者都移动。
有两种类型的轮廓仪：触针式和光学式。触针式轮廓仪使用探针检测表面，沿表面物理移动探针以获取表面高度。这是通过一个反馈回路以机械方式完成的，该回路监测样本沿着表面扫描时向上推动探针的力。反馈系统用于使臂保持特定的扭矩，称为“设定点”。然后，可以使用臂架Z位置的变化来重建曲面。
笔轮廓测定法
触针轮廓术需要力反馈和物理接触表面，因此，尽管它非常敏感并提供高Z分辨率，但它对软表面非常敏感，探头可能会被表面污染。这种技术也可能对某些表面造成破坏。
由于触针式轮廓仪在保持与表面接触的同时涉及X、Y和Z方向的物理运动，因此它比非接触式技术慢。触针尖端的大小和形状会影响测量并限制横向分辨率。
光学轮廓测量
光学轮廓术使用光而不是物理探针。这可以通过多种方式实现。这项技术的关键组成部分是以一种能够在3D中检测表面的方式引导光线。示例包括光学干涉、使用共焦孔径、聚焦和相位检测以及将图案投影到光学图像上。
