共聚焦性探讨是一种用于图像表面的点扫描光学技术。它通过使用小孔径，称为共聚焦孔径。高度聚焦的光通过孔径突出，并且仅焦平面内的表面将提供有用的信号。光学器件在表面上方扫描，直到观察到亮点。一旦观察到亮点，仪器将仪器计算到表面上该点的距离，使其在Z中。然后，光学器件然后沿着表面扫描，同时保持亮点以重建表面。
电网共聚焦
与焦点检测的图案投影
通常，光学仪器上使用的软件可能具有确定焦点和焦点失焦的困难。光学器件的准确性可能会限制焦平面可以解决的有效性。
通过使用高级光学来投影一个尖锐的模式，只能以精确的距离焦点，软件和光学器件能够更容易地确定焦平面中的内容，更准确。这也允许在测量透明样品中，因为投影只能聚焦在真实表面上。
该组合技术比焦点检测略复杂，但它提供更准确的测量和更简单的软件检测。
具有焦点检测的图案投影通常比其他扫描技术更快，因为只需要Z运动。该方法还改善了高度分辨率，以比扫描技术更好或更好。具有焦点检测的图案投影是本质的本质Zeta 3D光学分析器。
图案投影
模式投影轮廓测量测量通过将已知模式投影到样本上并将投影到样本反映的内容进行比较。通过比较这两个，可以通过软件重建样本的表面。
焦点检测
焦点检测很像我们如何看待世界。仪器通过寻找剧性对比来确定焦点和焦点的内容。对比度鲜明对比的地区被认为是焦点，并且通过了解光学器件的这种焦距，您可以确定距离。这通常通过扫描Z方向并使用相机扫描光学器件以创建三维数据量来起作用。获取数据后，切出焦点超出焦点的部件，并且留下了样本表面的表示。
也可以通过使用具有可变焦点的变焦显微镜来执行该技术来创建体积。这种技术通常更简单，成本较低的分辨率。通过使用常规显微镜目标和精密Z运动，可以大大提高X，Y和Z分辨率;分辨率仍低于共聚焦或干涉测量仪器。
