在新港对微结构进行表征
随着器件尺寸的缩小，需要新的技术来创建和评估纳米级的结构。在纽波特公司(Newport Corporation)， Tommaso Baldacchini博士正在开发微细加工和微细加工技术，创建具有100纳米尺度特征的结构。扫描电子显微镜(SEM)是必要的，以确定微观和纳米尺度的微观结构。Phenom SEM为Baldacchini博士节省了大量的时间，可以在内部提供SEM成像和分析。选择Phenom扫描电子显微镜是基于设备的科学价值，以及纳米科学仪器的技术专长将随时为当前和未来的应用提供的知识。英超利物浦足球俱乐部188金宝搏app安卓下载
所有照片和图片由新港公司提供。纽波特公司是全球领先的科研技术产品和解决方案供应商。在加州欧文的技术和应用中心，Tommaso 188金宝搏app安卓下载Baldacchini博士为微加工和微加工研发市场开发超快光子学解决方案。
专为研发设计:天工异彩扫描电子显微镜
传统的机械加工通常使用激光烧蚀来切割或铣削材料。超快微加工和微加工利用短脉冲激光干净地创建或切割微米级以下的2D或3D结构，产生如图所示的详细微结构，这是在新港用Phenom SEM成像的。上面的彩色SEM图像是米开朗基罗的《大卫》的微缩版，下面是一个结构中的结构。
评估这些微观结构需要扫描电子显微镜(SEM)，提供高分辨率和大景深。由于在使用新材料时需要测试许多变量，因此在开发过程中需要多次前往附近的设施进行扫描电镜成像。很明显，现场对微结构成像是必要的。在对同一样品在不同系统上的图像进行了完整的桌面扫描电镜评估后，Baldacchini博士选择了Phenom Pro扫描电镜，并指出它是“为研发而特意设计和设计的”。
与Nanoscience Ins英超利物浦足球俱乐部truments的合作也是选择Phenom SEM的一个重要因素。英超利物浦足球俱乐部Nanoscience Instruments拥有一支拥有技术专长的科学家团队，为客户的应用提供支持。188金宝搏app安卓下载该公司还提供其他材料表征仪器，如原子力显微镜、纳米压痕仪和微机械测试仪，这些可能在纽波特公司未来的项目中需要。
高精度微加工结构
随着尺寸的缩小，传统的制造微或纳米器件的方法往往不再适用。Newport公司开发了一种使用双光子聚合(TPP)来制造复杂结构的激光μFAB。TPP是一种打印技术，可以对聚合物微结构进行真正的三维书写，其特征尺寸可小至100纳米。新港公司已经应用TPP来制造以前无法用标准制造技术制造的设备。188金宝搏app安卓下载应用包括用于药物传递的微电子学、光子学和生物医学设备。
上面显示了tpp创建的结构的示例。TPP是唯一一项能够制造出这种长度尺度的物体的技术。扫描电镜是揭示这些微结构表面特征的最佳仪器。
TPP是一种添加工艺，通过激光诱导光聚合的方式将材料添加到衬底上。μFAB激光还可以执行减法类型的过程，如聚合物烧蚀。下面是在纳米尺度上去除材料的例子。
对于这个烧蚀样品，使用扫描电子显微镜(SEM)来验证烧蚀线清晰完整，没有碎屑或凸起边缘。采用超短脉冲激光与激光μFAB进行高精度冷烧蚀。材料(聚188金宝搏app安卓下载合物和介质)烧蚀的应用范围很广，从光伏到平板显示器。
扫描电子显微镜提供了观察这些沟槽顶部、侧面和底部所需的景深。Phenom SEM需要在微观和纳米尺度上成像烧蚀结构。