阴极发光

模块化CL in-SEM系统,具有多种成像模式

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Delmic SPARC

定界Sparc阴极发光系统的产品形象

SPARC是高性能的阴极发光(CL)检测系统. 该系统是理想的数据采集和检测系统阴极发光发射,在纳米尺度上实现快速、灵敏的材料表征。Delmic SPARC采用模块化平台设计和开源软件,是一个可升级的CL系统,非常适合于纳米光子学和地质学研究。

Delmic的标志


特征

SPARC提供:

  • 与SEM无缝集成:与所有主要品牌兼容
  • 扩展能力的多种模式包括:高光谱,角,偏振
  • 高的采集效率和光子产率:能够研究低发光样品,包括金属、半导体和纳米光子
  • 完全可伸缩自动化镜面工作台:与其他SEM探测器的干扰最小
  • 可拆卸:镜台易于从SEM室移除并返回
Delmic SPARC用于阴极发光

集成阴极发光的SPARC

用于CL的Delmic SPARC具有阴极辐射的收集(左)和检测(右)。

全伸缩镜台

高精度镜台设计,易于使用,干扰最小。舞台具有微定位能力,提供:

  • 使用精确和可重复的微定位自动对准
  • 与其他扫描电镜技术的干扰最小
  • 由于提高了反射率和前所未有的灵敏度,提高了采集效率,可实现更快的测量并减少伪影
  • 使用方便,因为后视镜可拆卸且易于清洁

除了其他先进的成像模式外,自动镜像平台还允许高效的高光谱成像。

模块化和升级

SPARC系统采用模块化设计,可升级。光学板、滤光片、偏光片和其他组件可以为各种应用定制。188金宝搏app安卓下载

集成校准光源

Delmic SPARC采用集成光源自动校准光谱仪与CL系统。


特征

用户友好性

SPARC CL是为易于使用而设计的。除了自动对准,完全可伸缩的镜子和校准光源,软件用户界面允许直接的数据采集和分析。例如,当使用偏振模式成像时,原始傅里叶图像直接显示为极坐标图。

软件功能包括:

  • 同时获取SEM与光谱或角度分辨图像
  • 选择CL图像的网格和像素大小
  • 单击一次即可应用更正文件
  • 开源
  • 小部件可用插件

光谱成像模式

光谱成像是阴极发光测量的传统和最常用的技术。当扫描电子显微镜(SEM)将电子束光栅化穿过样品,检测单个或窄波长范围内的光时,就会产生光谱图像。A.高光谱图像是当辐射在可分辨波长范围内被探测到时产生的,如图所示:

Delmic SPARC阴极发光(CL)系统的高光谱成像原理图

角模式成像

Angle-resolved CL光谱学将图像从镜子投射到相机上。通过检测发射光的方向性(也称为动量光谱),可以收集角度分辨的CL图像。滤光片轮用于光谱区分发射波长。

188金宝搏app安卓下载角度分辨阴极发光成像的应用包括等离子体纳米天线和光子晶体。

偏振模式成像

在角度分辨模式下使用偏振器或偏振计可以重建偏振状态(Stokes矢量)对不同发射角的阴极发光。为了进行重建,需要对包括抛物面镜在内的光学系统进行高级校正,并提供偏振模式选项。

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